低温等离子体区是工艺的核心技术，诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍有，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有能量平衡性，在粒子撞击中失能少，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体最有价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
    等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
    电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
   低温等离子净化器工作原理
    低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。