低温等离子设备又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
    低温等离子设备低温等离子体区是工艺的核心技术，诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍有，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有能量平衡性，在粒子撞击中失能少，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体最有价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
    低温等离子设备等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
    电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用